成交量100+
點擊量1
波長范圍:
130nm-180nm
焦距:
360mm
光柵刻線數(shù):
300條/mm
CCD像素分辨率:
12PM
最大功率:
200W
平均功率:
1200W
待機功率:
70W
光學系統(tǒng):
帕刑-龍格結(jié)構(gòu)羅蘭圓光系統(tǒng)
高度:
1130mm
深度:
720mm
寬度:
840mm
重量:
160kg(不含真空泵)
電源:
110/230V(50/60Hz)
頻率:
100-500V
讀出系統(tǒng):
采用最新技術(shù)的外部PC工作站
產(chǎn)地:
德國
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